離子色譜的分離機理主要是離子交換，有3種分離方式，它們是高效離子交換色譜（HPIC）、離子排斥色譜 （HPIEC）和離子對色譜 （MPIC）。用于3種分離方式的柱填料的樹(shù)脂骨架基本都是苯乙烯-二乙烯基苯的共聚物，但樹(shù)脂的離子交換功能基和容量各不相同。HPIC用低容量的離子交換樹(shù)脂，HPIEC用高容量的樹(shù)脂，MPIC用不含離子交換基團的多孔樹(shù)脂。3種分離方式各基于不同分離機理。HPIC的分離機理主要是離子交換，HPIEC主要為離子排斥，而MPIC則是主要基于吸附和離子對的形成。

氣相色譜部分原理與氣象色譜一致，質(zhì)譜部分原理為電子轟擊離子化(electron impact ionization，EI)EI是最常用的一種離子源，有機分子被一束電子流(能量一般為70eV)轟擊，失去一個(gè)外層電子，形成帶正電荷的分子離子(M+)，M+進(jìn)一步碎裂成各種碎片離子、中性離子或游離基，在電場(chǎng)作用下，正離子被加速、聚焦、進(jìn)入質(zhì)量分析器分析。

液相色譜部分原理與氣象色譜一致，質(zhì)譜部分原理為電子轟擊離子化(electron impact ionization，EI)EI是最常用的一種離子源，有機分子被一束電子流(能量一般為70eV)轟擊，失去一個(gè)外層電子，形成帶正電荷的分子離子(M+)，M+進(jìn)一步碎裂成各種碎片離子、中性離子或游離基，在電場(chǎng)作用下，正離子被加速、聚焦、進(jìn)入質(zhì)量分析器分析。

ICP-MS儀器所使用的等離子體除了方位和線(xiàn)圈接地方式外，與發(fā)射光譜中使用的基本相同。所使用的質(zhì)量分析器、離子檢測器和數據采集系統又與四極桿GC-MS儀器相類(lèi)似。質(zhì)量分析器多采用四極桿質(zhì)譜計，也有采用具有高分辨的雙聚焦扇形磁場(chǎng)質(zhì)譜計、飛行時(shí)間質(zhì)譜計等。該技術(shù)的特點(diǎn)：靈敏度高；速度快，可在幾分鐘內完成幾十個(gè)元素的定量測定；譜線(xiàn)簡(jiǎn)單，干擾相對于光譜技術(shù)要少；線(xiàn)性范圍可達7～9個(gè)數量級；樣品的制備和引入相對于其他質(zhì)譜技術(shù)簡(jiǎn)單；既可用于元素分析，還可進(jìn)行同位素組成的快速測定；測定精密度(RSD)可到0.1%。

高頻振蕩器發(fā)生的高頻電流，經(jīng)過(guò)耦合系統連接在位于等離子體發(fā)生管上端，銅制內部用水冷卻的管狀線(xiàn)圈上。石英制成的等離子體發(fā)生管內有三個(gè)同軸氬氣流經(jīng)通道。冷卻氣(Ar)通過(guò)外部及中間的通道，環(huán)繞等離子體起穩定等離子體炬及冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化的作用。工作氣體(Ar)則由中部的石英管道引入，開(kāi)始工作時(shí)啟動(dòng)高壓放電裝置讓工作氣體發(fā)生電離，被電離的氣體經(jīng)過(guò)環(huán)繞石英管頂部的高頻感應圈時(shí)，線(xiàn)圈產(chǎn)生的巨大熱能和交變磁場(chǎng)，使電離氣體的電子、離子和處于基態(tài)的氖原子發(fā)生反復猛烈的碰撞，各種粒子的高速運動(dòng)，導致氣體完全電離形成一個(gè)類(lèi)似線(xiàn)圈狀的等離子體炬區面，此處溫度高達6000一10000攝氏度。樣品經(jīng)處理制成溶液后，由超霧化裝置變成全溶膠由底部導入管內，經(jīng)軸心的石英管從噴咀噴入等離子體炬內。樣品氣溶膠進(jìn)入等離子體焰時(shí)，絕大部分立即分解成激發(fā)態(tài)的原子、離子狀態(tài)。當這些激發(fā)態(tài)的粒子回收到穩定的基態(tài)時(shí)要放出一定的能量(表現為一定波長(cháng)的光譜)，測定每種元素特有的譜線(xiàn)和強度，和標準溶液相比，就可以知道樣品中所含元素的種類(lèi)和含量。

原子吸收是指呈氣態(tài)的原子對由同類(lèi)原子輻射出的特征譜線(xiàn)所具有的吸收現象。