氣相色譜部分原理與氣象色譜一致，質(zhì)譜部分原理為電子轟擊離子化(electron impact ionization，EI)EI是最常用的一種離子源，有機分子被一束電子流(能量一般為70eV)轟擊，失去一個(gè)外層電子，形成帶正電荷的分子離子(M+)，M+進(jìn)一步碎裂成各種碎片離子、中性離子或游離基，在電場(chǎng)作用下，正離子被加速、聚焦、進(jìn)入質(zhì)量分析器分析。

液相色譜部分原理與氣象色譜一致，質(zhì)譜部分原理為電子轟擊離子化(electron impact ionization，EI)EI是最常用的一種離子源，有機分子被一束電子流(能量一般為70eV)轟擊，失去一個(gè)外層電子，形成帶正電荷的分子離子(M+)，M+進(jìn)一步碎裂成各種碎片離子、中性離子或游離基，在電場(chǎng)作用下，正離子被加速、聚焦、進(jìn)入質(zhì)量分析器分析。

ICP-MS儀器所使用的等離子體除了方位和線(xiàn)圈接地方式外，與發(fā)射光譜中使用的基本相同。所使用的質(zhì)量分析器、離子檢測器和數據采集系統又與四極桿GC-MS儀器相類(lèi)似。質(zhì)量分析器多采用四極桿質(zhì)譜計，也有采用具有高分辨的雙聚焦扇形磁場(chǎng)質(zhì)譜計、飛行時(shí)間質(zhì)譜計等。該技術(shù)的特點(diǎn)：靈敏度高；速度快，可在幾分鐘內完成幾十個(gè)元素的定量測定；譜線(xiàn)簡(jiǎn)單，干擾相對于光譜技術(shù)要少；線(xiàn)性范圍可達7～9個(gè)數量級；樣品的制備和引入相對于其他質(zhì)譜技術(shù)簡(jiǎn)單；既可用于元素分析，還可進(jìn)行同位素組成的快速測定；測定精密度(RSD)可到0.1%。